| Chi
phí thấp hơn nhưng đo lường chính xác cao. |
|
|
|
|
|
| Đáp
ứng tốc độ cao và độ ổn định bằng không. |
|
|
|
|
|
| Tín
hiệu đầu vào / đầu ra 0-5VDC hoặc 4-20mA và nguồn điện +/- 15VDC hoặc 24VDC. |
|
|
|
|
|
| Tầm
thường D-sub 9pin. |
|
|
|
|
|
|
| Khí
được đăng ký trong EX-250S có thể sử dụng bằng công tắc xoay. |
|
|
|
|
|
| *
Tính tốc độ dòng chảy với hệ số chuyển đổi dựa trên khí N2. |
|
|
|
|
|
| Tuân
thủ RoHS, đánh dấu CE. |
|
|
|
|
|
|
| Model |
Bộ
điều khiển lưu lượng lớn |
Bộ
điều khiển lưu lượng lớn |
|
|
|
|
| EX-250SC |
EX-250SM |
|
|
|
|
| Loại
cảm biến |
Cảm
biến nhiệt |
|
|
|
|
| Valve
type |
Van
điện từ tỷ lệ thường đóng |
- |
|
|
|
|
| Khí
áp dụng（*1） |
N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2
etc. |
|
|
|
|
| (Khí
ga không được đề cập cụ thể ở đây có thể được thay thế hiệu chuẩn cho khí N2
tương đương) |
|
|
|
|
| Tầm
đo(*2） |
10SCCM
～ 5SLM |
|
|
|
|
| Tầm
kiểm soát |
2
～ 100%(F.S.) |
|
|
|
|
| Độ
phản hồi |
≤
1 giây （trong vòng ± 2%F.S.）（*8） |
|
|
|
|
| Độ
chính xác（*3） |
±
1.0%F.S. |
|
|
|
|
| Độ
lặp lại |
±
0.2%F.S. |
|
|
|
|
| Áp
suất làm việc chênh lệch（*4） |
50
～ 300kPa（Ar、CO2：１00kPa ～ 300kPa） |
- |
|
|
|
|
| Áp
suất vào tối đa |
500kPa（G） |
|
|
|
|
| Áp
suất chịu đựng |
980kPa（G） |
|
|
|
|
| Tốc
độ rò rỉ bên ngoài（He） |
≤
1.0 × 10-8Pa・m3/sec |
|
|
|
|
| Nhiệt
độ |
Nhiệt
độ làm việc |
5
～ 50℃ |
|
|
|
|
| Độ
chính xác đảm bảo tạm thời |
15
～ 35℃ |
|
|
|
|
| Nhiệt
độ lưu trữ cho phép |
-10
～ 60℃ |
|
|
|
|
| Độ
ẩm hoạt động cho phép |
10
～ 90%RH (không ngưng tụ sương ) |
|
|
|
|
| Vật
liệu của phần tiếp xúc khí ga |
SUS316,
SUS316L, magnetic stainless steel（*5）, PTFE, FKM |
|
|
|
|
| Phần
kết nối điện |
Dsub
9pin tiêu chuẩnKFC Standard（tuân thủ tiêu chuẩn SEMI ） |
|
|
|
|
| HR-10A |
|
|
|
|
| Chi
phí thấp hơn nhưng đo lường chính xác cao. |
0～5VDC(input
impedance: approx. 1M Ω) |
- |
|
|
|
|
| or
4～20mA(input impedance: approx. 250 Ω) |
|
|
|
|
| Tín
hiệu tốc độ lưu lượng ra |
0
～ 5VDC( tải trở ≧10k Ω) |
|
|
|
|
| or
4 ～ 20mA( tải trở ≧500 Ω) |
|
|
|
|
| Giao
tiếp kỹ thuật số |
RS485 công
tắc xoay cài vị trí |
|
|
|
|
| Nguồn(DC) |
+15VDC(
± 5%)100mA , -15VDC（± 5%）150mA |
|
|
|
|
| or
+24VDC（± 10%） ≤180mA (MFM would be ≤100mA) |
|
|
|
|
| Khớp
nối（*6） |
1/4F900（tiêu
chuẩn） |
|
|
|
|
| Tư
thế lắp đặt |
Khuyến nghị lắp đặt ngang. |
|
|
|
|
| Cân
nặng（*7） |
Xuất
xỉ.500g |
Ap |
|
|
|
|
(*1）Khí
ga phải khô và sạc, không chứa các thành phần ăn mòn và các chất lạ như bụi
và hơi nước
The gases must be dry and clean, free of corrosive components and foreign
matter such as dust and mist. |
|
|
|
|
| （*2） Đơn
vị hiêu chuẩn tỉ lệ dòng chảy SCCM và SLM hiện thị tỉ lệ dòng chảy được chuyển đổi sang tốc độ
dòng chảy tính bằng cc/phút và L/phút ở
0°C and 1 atm. |
|
| （*3） Độc
chính xác cho khí hiệu chuẩn: N2, phạm vi lưu lượng(tối đa toàn tầm đo). |
|
|
|
|
|
| （*4） Áp
suất làm việc chênh lệch có thể khách nhau tùy thuộc vào đặc điểm kỹ thuật |
|
|
|
|
|
| （*5） Lưu
lượng kế lớn không chứa thép không rỉ từ tính |
|
|
|
|
|
| （*6） Liên
hệ với chúng tôi khi có bất cứ khớp nối khác |
|
|
|
|
|
| （*7） Trọng
lượng duy nhất của khớp nối |
|
|
|
|
|
| （*8） Cần
có điều khiển áp suất khi đặt hàng |
|
|
|
|
|
Nhận xét
Đăng nhận xét